氮化铝表面热氧化的分子动力学研究

摘要：

采用分子动力学方法对氮化铝材料的表面热氧化过程进行了研究,开发了包含Al、N和O三种元素的反应势,探讨了氧化温度和时间对材料结构的影响.发现温度越高氧化反应越容易进行,氧扩散进入纤锌矿结构的氮化铝表面后会生成Al-O-N无定型结构的氧化膜,氧化时间增长时会阻止材料的进一步氧化.

关键词：氮化铝、分子动力学、热氧化

所属期刊栏目：15

分类号：TN304.02(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金51407066;湖南省自然科学基金13JJ6066;湖南省教育厅科学研究基金16C0716

在线出版日期：2018-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：82-84