利用CO2激光修复熔石英光学元件损伤的残余应力控制

摘要：

CO2激光修复技术是修复熔石英光学元件激光损伤的主要方法,但是在修复过程中可能出现烧蚀、气泡、残余应力、调制等问题,尤其是残余应力问题,如果不加以控制极易导致光学元件再损伤和局部开裂.本文主要研究了在利用CO2激光修复熔石英光学元件的激光诱导损伤过程中的残余应力控制.通过塞纳蒙(Senarmont)应力检测法,测量应力双折射产生的光程差随激光退火时间的变化关系,发展了一种临界损伤尺寸开裂法精确测量激光退火后的残余应力,有效控制了产生的残余应力,提升了熔石英光学元件损伤点的抗损伤能力.

关键词：激光损伤修复、残余应力、塞纳蒙(Senarmont)应力检测法、熔石英

所属期刊栏目：14

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2018-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：58-59