高性能MOS结构高频CV特性测试仪的研制

摘要：

高频CV特性测试仪,属于半导体器件特性测量领域.为解决目前市面上C-V特性测试仪低分辨率、低线性度的问题,本测试仪采用高频调制原理抑制低频噪声,采用平方率检波原理实现低失真电容测量.该仪器基于高性能单片机控制,实现独立人机交互和联机测试等多种测量模式.仪器包括电源模块、人机交互模块、USB通讯模块、单片机控制模块、高频信号产生模块、平方率检波模块和电容检测放大模块;待测电容Cx两端信号被电容检测放大模块放大处理后,输出含有正弦波的信号,信号幅值反应电容值的大小,平方率检波模块输出直流分量,并转换为数字信号作为待测电容Cx的电容值的取值结果送到单片机控制模块中,该值可在人机交互模块上显示,也可以通过USB通讯模块上传至电脑中.

关键词：高频CV特性、半导体器件、人机交互

所属期刊栏目：14

分类号：TN386.1(半导体技术)

在线出版日期：2018-02-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：148-150