用于控制气体供应的方法和控制器

摘要：

提供一种用于控制对工艺腔室(301)的气体供应的方法(200)。此方法(200)包括以下步骤：由在工艺腔室(301)中提供的两个或更多个传感器(35、36、313、314)中的每一个测量(210)气体参数；从所测量的气体参数确定(220)组合的气体参数；以及基于所确定的组合的气体参数来控制(230)对工艺腔室(301)的气体供应。

机标关键词：控制、气体供应、方法、气体参数、工艺腔、多个传感器、组合、测量、参数确定

分类号：TN8;TG1

在线出版日期：2016-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：178-178