基于CMOS工艺的加速度计制备

摘要：

传统的体硅方式加工的微加速度计具有体积大，成本高，不易与处理电路单片集成的缺点。而采用CMOS工艺方式加工的微加速度计具有体积小，成本低，噪声小，易与处理电路单片集成，更符合当今智能手机和可穿戴设备的需求。针对集成加速度计行评述，叙述电容式加速度计检测原理，并提出一种基于CMOS工艺的一种制备加速度计的加工方式。

关键词：加速度计、MEMS、POST、CMOS

分类号：U666.1(船舶工程)

在线出版日期：2015-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：54-55,58