统计过程控制技术在半导体行业中的应用

摘要：

该文在简述统计过程控制(SPC)原理后,对半导体分立器件在生产过程中实施统计技术进行研究,在基于"计量值常规控制图的前提条件是要求被分析的数据满足IIND(独立同分布)条件"的观点上,探讨应用在半导体行业中的特殊SPC模块与应用在传统工艺中的SPC的区别,体现了特殊SPC模块在现代电子行业质量管理中的重要作用,通过特殊SPC模块在半导体分立器件关键工序"磷扩散工序"中的实际应用,对磷扩散工序进行工艺优化确保工序稳定受控,并使其工序能力指数CPK提高了38%,保证产品内部质量的同时,缩短了生产周期,提高生产线制造水平和产品的年供货能力,大大提升了产品的竞争力.

关键词：统计过程控制(SPC)、IND条件、特殊SPC模块、嵌套控制图

分类号：F27(企业经济)

在线出版日期：2015-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：94-95