MKS-690A电容薄膜真空计精度调整方法研究

摘要：

MKS-690A是美国MKS公司高精度电容薄膜真空计，精度达万分之五，常被用作国际间比对的传递标准。针对该标准电容薄膜真空计精度降低问题，在探讨其内部结构、工作原理后，给出利用现有设备对其进行精度调整的方法。实际检测证明：该方法简单实用，可操控性强，可为国内其他单位所借鉴。

关键词：真空测量、电容薄膜真空计、标准、校准、精度调整

分类号：TB772(真空技术)

在线出版日期：2014-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：87-88