几种功率MOSFET元胞结构的比较

摘要：

对几种常见功率MOSFET的元胞结构、工艺流程和电学参数特点进行了介绍和分析，指出了各类元胞结构的优缺点和工艺实现上的难点，给出了对不同的电压范围应采用的元胞结构的意见。

关键词：功率MOSFET、元胞、工艺流程

分类号：TN386(半导体技术)

在线出版日期：2014-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：81-81