半导体使用气三氟化砷的研制

摘要：

以砷单质和氟气为原料，采用气固法制备三氟化砷，研究了反应温度和反应物氟气压力对反应的影响。结果表明，制备AsF3的最佳条件：反应过程温度控制在300℃左右，氟气压力控制在0.1MPa。此条件下，得到纯度99%以上的三氟化砷产品。

关键词：砷、氟气、三氟化砷

分类号：TN304(半导体技术)

在线出版日期：2014-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：60-61