一种新的光电技术波面干涉动态测量方法研究

摘要：

传统的波面干涉检测是通过记录干涉条纹,然后对干涉系统进行分析、判读,最后获得波面的变形信息.这是一种典型的静态测量法,精度较低、测量周期长.本文提出了一种全新的测试方法,即基于光电技术的波面动态测量法,论文对该测量法的测试原理、设备基本构成及实际应用等作了较详细的介绍.此方法具有的高测量精度、高灵敏度及测量自动化、实时化、数字化等优点,代表了光学测试技术的新水平和发展万向.

关键词：波面、干涉条纹、光电技术、光学测试

分类号：TB96(计量学)

在线出版日期：2014-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

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