新型倾角传感器设计

摘要：

该文利用石英晶片的压电特性,针对传统倾角传感器的缺点,提出了一种新型的倾角传感器设计方法.应用本文提出的设计方法设计出的传感器与其他传感器相比具有体积小,灵敏度高,抗干扰能力强等优点.同时对传感器的原理,结构,信号处理电路进行了分析.

关键词：石英晶片、倾角传感器、MEMS加工技术

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2013-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

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