物理冶金法单晶硅片双面磷吸杂实验研究

摘要：

对物理冶金法提纯的单晶硅太阳能电池的生产工艺中,在磷扩散制备PN结时进行了双面磷吸杂实验研究.结果表明,与常规的磷吸杂扩散相比,双面磷吸杂效果明显,吸杂后硅片的少子寿命及其制成电池片的转换效率均有提高.

关键词：物理冶金法、单晶硅、双面磷吸杂、少子寿命、转换效率

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2013-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：48-49