双金属电弧离子蒸发源的研制

摘要：

阐述了双金属电弧离子蒸发源的设计原则及结构。利用双金属电弧离子蒸发源成功制备了TiAlN膜层,并对优化的制备参数做了简要介绍。

关键词：电弧离子镀、离子蒸发源、研制

分类号：TG174(金属学与热处理)

在线出版日期：2012-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：14-15