浸没式光刻气泡夹带与流动动力问题研究

摘要：

本文结合FLUENT仿真分析与气密封浸液单元的实测过程对浸没式光刻过程中出现的气泡夹带及流动动力问题进行了研究。

关键词：浸没式光刻气泡、流动动力

分类号：TP273(自动化技术及设备)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：92-93