低温氢等离子体中氢原子分子激发态分析

摘要：

采用发射光谱法对螺旋波低温氢等离子体进行诊断,运用Rolizmann图解法分析氢原子激发态,氢分子振动、转动激发态.结果表明:随着输入射频功率增加,氢等离子体发射光谱强度增强,氢原子激发温度升高，氢分子振动激发温度降低，氢分子转动温度降低;随着气压增大,氢原子激发温度降低,氢分子振动激发温度降低,氢分子转动温度升高.

关键词：低温等离子体、发射光谱、原子激发温度、分子振-转温度

分类号：O53(等离子体物理学)

在线出版日期：2011-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：20-21,23