探针压力对四探针法测量银薄膜电阻率的影响

摘要：

本文用四探针法测量了220纳米厚的银薄膜的电阻率,研究了探针压力对银薄膜电阻率的影响.结果表明:随着探针压力从1.47 牛顿增大到4.41牛顿,银薄膜的电阻率略微增大,最大探针压力时的电阻率比最小探针压力时的电阻率大约增加了7%.

关键词：四探针法、探针压力、银薄膜、电阻率

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2011-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：98-99