脉冲激光沉积制备ZnO电致发光器件的研究进展

摘要：

电致发光器件具有广阔的应用前景.而ZnO具有优良的发光特性,已成为制备电致发光器件材料的研究热点.近年来人们一直积极探索利用各种工艺方法制备ZnO电致发光器件,希望获得发光效率高的器件,其中利用脉冲激光沉积(PLD)法制备ZnO电致发光器件成为备受关注的课题,本文综述了用脉冲激光沉积制备ZnO电致发光器件的研究进展,包括ZnO同质结器件和ZnO异质结器件.

关键词：ZnO、脉冲激光沉积、电致发光

分类号：TN383.1(半导体技术)

资助基金：合肥工业大学大学生创新性实验计划项目2009CXSY193

在线出版日期：2010-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：10,12