超大规模集成电路互连线问题的研究分析

摘要：

超大规模集成电路的互连线问题当今集成电路领域的一个研究热点,随着半导体器件和互连线尺寸的不断缩小,越来越多的关键设计指标--性能、抗扰度等--将主要取决于互连线,或受互连线的严重影响.为了加强对于互连线技术的了解和对互连线问题的进行研究,文章讨论了互连线模型中各元件的影响及对互连线的建模.

关键词：超大规模集成电路、互连线问题、建模、RC模型、RLC模型

分类号：TN47(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2009-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：54-54