分立双室离子镀膜技术浅析

摘要：

通过真空镀膜技术的分析,给出了基本真空镀膜方法,介绍分立双室离子镀膜特点,及IP-4B型分土双室离子镀膜机设计思想,指出其镀膜产品工业化方法.

关键词：真空镀膜、分立双室、方法、特点、产品工业化

分类号：G31(科学研究工作)

在线出版日期：2009-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：19-19