微电子系统光开关

摘要：

本文以光开关为切入点叙述了微电子机械系统技术的特点和优点,井介绍了几种新近开发的光开关实例.

关键词：微电子机械系统、光开关

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2009-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：6,8