半导体器件失效分析的重要性及关键问题研究

摘要：

本文对半导体器件失效分析的重要性及析的关键问题包括失效信息及失效数据的收集、失效预警及启动分析机、信息反馈机制、专业技术及人员、善于总结,实现点到面的技术提升等方面.

关键词：半导体器件、失效分析

分类号：TN303(半导体技术)

在线出版日期：2009-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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