薄膜的晶格失配应力分析

摘要：

随着薄膜的应用范围愈来愈广,薄膜内应力研究在薄膜基础理论和应用研究中起到十分重要的作用.本文在研究薄膜内应力与应变关系的基础上,通过建立力学模型,给出晶格失配应变和应力,并讨论了失配位错应力及允许产生位错的薄膜临界厚度.

关键词：薄膜、应变、应力、晶格失配、位错

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2008-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：14-15