一种微型泵的设计

摘要：

设计了一种可灵活应用于微量分析系统的微型泵,详细分析了其结构和工作原理,说明了主要的制造工艺,并给出了它在精密化学分析中的应用实例,最后总结了它的优缺点.该微型泵采用硅微细加工技术制作,使用了电磁制动无阀式结构的设计方案,并使用双向驱动方式提高效率.该微型泵具有可靠性高、寿命长、体积小、成本低等优点,充分满足了分析系统小型化、利于批量生产和降低成本的要求.

关键词：微机电系统、微执行器、微型泵

分类号：TN912.34

在线出版日期：2008-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：23-24