316L钢+Al2O3金属陶瓷复合膜的制备与组织性能研究

摘要：

用直流磁控溅射和射频磁控溅射共沉积在316L高速钢基体上制备了金属陶瓷复合薄膜.XRD检测表明,复合薄膜中主要以Fe-Cr相为主,并表现出较强的(110)和弱的(211)择优取向.SEM形貌分析显示,复合薄膜表面呈均匀颗粒状,断面形貌为明显的致密等轴晶结构,并具有良好的高温抗氧化性.硬度和耐磨性测试表明,复合薄膜的力学性能比316L块体的有明显改善.

关键词：金属陶瓷复合膜、射频溅射R.F、Al2O3、奥氏体不锈钢

分类号：TG1(金属学与热处理)

在线出版日期：2007-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：12,14