洁净车间不锈钢板墙面施工技术

摘要：

@@ 襄樊仪表元件厂集成电路生产线的大部分生产工序均需进行空气净化处理,而其中光刻、制版工艺还要求粒度在0.5μm以上的尘垢含量不得超过3.5个/L;所以线性电路的上述工序要求在全室100级净化环境中工作,设计洁净区建筑面积为115m2.

机标关键词：洁净车间、不锈钢板、墙面、制版工艺、仪表元件、线性电路、生产工序、净化环境、净化处理、建筑面积、集成电路、生产线、洁净区、襄樊、设计、粒度、空气、含量、光刻

所属期刊栏目：31

分类号：TU7(建筑施工)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：606-607