掺杂与热处理温度对VO2薄膜性能的影响

摘要：

应用无机溶胶-凝胶法在玻璃基片上制得VO2薄膜样品,并研究了真空热处理温度和掺杂对VO2薄膜光电性能的影响.结果表明:在350,400,450℃真空热处理温度下得到的VO2薄膜,其相变温度大约都在65℃,其中400℃真空热处理温度下得到的VO2薄膜表现出明显的电阻突变现象;在VO2薄膜中掺入W6+,M06+,Cu2+(原子比均为2%),VO2薄膜的相变温度得到有效降低,但是掺杂会使VO2薄膜的光学透过性降低.

关键词：无机溶胶-凝胶法、二氧化钒薄膜、掺杂、相变

所属期刊栏目：9

分类号：TQ171

资助基金：中国洛阳浮法玻璃集团有限责任公司资助项目

在线出版日期：2006-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：548-554