录磁机三种刻录方法对磁栅尺精度影响的机制分析

摘要：

分析了三种磁栅刻录方法的刻录原理,以及每种方法对应的误差产生机制,运用数学方法探讨了同轴度误差、平行度误差、直线度误差及阿贝误差对磁栅尺最终精度的具体影响.针对不同刻录方法的特点,提出了改进刻录精度的思路和建议,为录磁机的结构优化设计及刻录精度的误差补偿奠定了一定的理论基础.

关键词：录磁机、误差分析、磁栅尺、刻录方法

所属期刊栏目：54

分类号：TH82

资助基金：国家重大科研仪器研制项目编号:51527806上海市军民结合产业发展体系建设项目编号:JMJH2013002上海市闵行区产学研项目2013MH111

在线出版日期：2016-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：38-41