晶圆微芯片检查提取设备的设计与实现

摘要：

介绍了晶圆微芯片检查提取设备的工艺流程和技术要求,设计了各部分结构,特别对芯片提取翻转放置机构进行了详细说明.介绍了富士PLC、触摸屏、伺服电机和E-SX总线在该设备中的应用,该系统通过E-SX总线将人机界面、控制器和执行器件连接,配线简单、维护方便、高速可靠.

关键词：晶圆微芯片、检查提取、E-SX总线、PLC

所属期刊栏目：50

分类号：TH122

资助基金：上海市科技攻关项目10111101100

在线出版日期：2012-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-8