基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺

摘要：

主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺.该驱动器结构简单,由 Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起.分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化.采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈、在 Parylene薄膜上电镀 NiFe合金阵列,并采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构.

关键词：电磁驱动、微驱动器、Parylene、振动膜

所属期刊栏目：42

分类号：TH703.2;TP215(仪器、仪表)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研项目20010248001

在线出版日期：2005-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-28