基于压电技术的光刻机物镜隔振设计与研究

摘要：

随着大规模集成电路的发展，光刻机物镜曝光的特征线宽指标越来越高，对物镜位置及位置稳定性的要求也与日俱增。为此，本文提出了一种采用压电陶瓷作为作动器与传感器的方法，实现了对光刻机物镜的微振动主动控制。可使物镜位置稳定性提高35%左右，从而提高物镜成像质量。

关键词：光刻机、投影物镜、压电陶瓷、主动减振、柔性块

分类号：O61;TN2

在线出版日期：2014-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33