介观尺度微型铣床开发及性能试验

摘要：

针对微机电系统(Microeletro mechanical system,MEMS)技术和超精密加工技术局限,开展面向介观尺度微细铣削技术的研究.首先根据介观尺度铣削的加工特点,对其机理研究的关键问题进行详细的分析和讨论,提出微细铣削理论的研究重点及研究方法.然后在分析微细铣削成形条件和加工要求的基础上,开发微型铣床系统,并对系统各组成子系统及性能指标进行描述.最后开展机床加工性能评估试验,通过精度测量、误差分析和误差补偿提高工作台的定位精度达到1.62 μm,采用直径0.127 mm铣刀开展微铣削试验,通过表面粗糙度测量和同心圆切削试验评估机床的加工精度,在此基础上通过复杂零件加工实例进一步说明机床的加工能力,论证小型化机床加工技术的可行性和实用性.

关键词：介观尺度、微细制造、铣、加工、微型机床

所属期刊栏目：42

分类号：TG5(金属切削加工及机床)

资助基金：国家自然科学基金50575134;上海交通大学211重点建设基金W221702003

在线出版日期：2006-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：162-167