残余应力对z轴硅微机械振动陀螺仪性能的影响

摘要：

z轴硅微机械陀螺仪采用体硅薄片溶解法制作,在加工过程中引入了残余应力.从理论上分析了残余应力对z轴陀螺仪工作模态的影响,并采用有限元软件进行了仿真.仿真结果和试验表明,第一回合设计的z轴陀螺仪驱动轴受到张应力作用,应力值约为20～30 MPa;检测轴受到压应力的作用.在此基础上提出了两种应力释放结构的设计方案,折叠梁结构的设计和应力释放槽的开设.由第二回合设计的z轴陀螺仪试验结果表明,陀螺仪结构内残余应力得到了较好地释放,大大提高了陀螺仪结构的机械灵敏度.

关键词：残余应力、机械灵敏度、折叠梁、应力释放槽

所属期刊栏目：41

分类号：U666.12(船舶工程)

在线出版日期：2005-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：228-232