力反馈微加速度计的准静态和阶跃响应模型

摘要：

对于微机械电容式加速度计,为了检测微小电容变化,必须引入交直流电压驱动信号,然而该静电力的存在显著影响传感器的最大可靠工作范围.对准静态惯性信号和阶跃惯性信号,深入研究了力反馈加速度计的可靠工作范围,建立了不同偏压配置的驱动信号对引起吸合失效的临界加速度信号的影响模型.研究结果表明静电力对阶跃信号的影响要比准静态信号大,动态工作条件下所能承受的最大阶跃加速度信号比准静态信号要小一个数量因子.对于双边驱动的力反馈加速度计,正正偏压配置或正负偏压配置可以最大程度地减小驱动信号引起的传感器吸合失效,从而增大可靠工作范围;而负负偏压配置或负正偏压配置增大了驱动信号效应,从而大大减小了可靠工作范围.

关键词：加速度计、静电力、偏置电压极性、反馈

所属期刊栏目：40

分类号：TH7(仪器、仪表)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033101;国家高技术研究发展计划863计划2003AA715121,2002AA430010

在线出版日期：2004-12-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：102-108