类金刚石薄膜摩擦学性能影响因素及改善措施的研究进展

摘要：

类金刚石(diamond-like carbon,DLC)是一类含有金刚石结构(sp3杂化键)和石墨结构(sp2杂化键)的亚稳态非晶物质,具有高硬度、耐腐蚀、低摩擦因数、耐磨损等优良特性,但也存在着由于制备工艺、沉积参数等不同导致的内应力大、热稳定性差、摩擦学行为敏感等问题,大大限制了其产业化应用.从固有因素和外界因素2个方面综述了影响DLC薄膜摩擦学性能的因素,从异质元素掺杂、表面织构化等方面论述了改善DLC薄膜摩擦学性能的措施,展望了DLC薄膜摩擦学性能研究趋势.

关键词：DLC薄膜、摩擦学性能、影响因素、表面织构、元素掺杂

所属期刊栏目：46

分类号：TH117

资助基金：国家自然科学基金;上海市自然科学基金资助项目;上海应用技术大学中青年人才发展基金资助项目

在线出版日期：2022-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7