微米尺度压痕测试设备的研发及其可靠性

摘要：

基于Oliver-Pharr方法和断裂韧度测试方法成功研制了一台微米尺度压痕测试设备,使用有限元方法对其机械可靠性进行验证,并利用该设备测试了高纯铝和氧化锆陶瓷的力学性能参数,验证设备的测试性能.结果表明:所研制的微米尺度压痕测试设备结构稳定,设计合理,闭环控制稳定性好,噪声水平较低,满足测试要求.采用该设备在不同压入载荷下测得高纯铝及氧化锆陶瓷的硬度、弹性模量以及断裂韧度与使用标准压痕设备测试得到的结果一致,相对误差小于7％,证明了该设备测试结果的准确性.

关键词：压痕测试设备;有限元方法;Oliver-Pharr方法;力学性能参数

所属期刊栏目：46

分类号：TH122

资助基金：国家自然科学基金;湖南省自然科学基金杰出青年基金资助项目;湖南省教育厅重点项目

在线出版日期：2022-03-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：88-94