氮气流量对反应磁控溅射制备CrNx涂层性能的影响

摘要：

通过控制氮气流量(20～60 cm3?min-1),采用反应磁控溅射技术分别在不锈钢和硅片基底上制备CrNx涂层,研究了氮气流量对涂层物相组成、显微组织、纳米压痕力学性能、摩擦学性能以及在质量分数3.5％NaCl溶液中电化学腐蚀性能的影响.结果表明:不同氮气流量下的CrNx涂层均表现出柱状晶结构;随着氮气流量的增加,CrNx涂层的物相经历了Cr→Cr2N→CrN的变化,纳米压痕硬度和弹性模量均先增后降,平均摩擦因数和磨损率先降后增再降,耐腐蚀性能则先变好后变差;当氮气流量为30 cm3?min-1时,涂层结构致密,力学性能、耐磨性能和耐腐蚀性能最优.

关键词：氮气流量、CrNx涂层、物相组成、耐磨性能、耐腐蚀性能

所属期刊栏目：44

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金资助项目;国家重点研发项目

在线出版日期：2020-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：25-29,34