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10.11973/jxgccl201808010

反应磁控溅射法制备ZnO/Al(O)/ZnO薄膜的光学和电学性能

引用
采用反应磁控溅射法,通过控制中间层沉积时的氧气流量,在聚对苯二甲酸乙二醇酯基底上制备了ZnO/Al(O)/ZnO薄膜,研究了氧气流量对Al(O)薄膜的微观形貌、表面粗糙度,以及对ZnO/Al(O)/ZnO薄膜光学和电学性能的影响.结果表明:随着氧气流量的增加,铝在ZnO薄膜表面由三维岛状生长转变为二维层片状生长,Al(O)薄膜表面粗糙度先增大后减小再增大,当氧气流量为6.7×10-3 cm3?s-1时最小;随着氧气流量的增加,ZnO/Al(O)/ZnO薄膜在较长波长范围内的透过率增大,方阻增大,霍尔迁移率和载流子浓度下降;综合考虑光学和电学性能,适宜的氧气流量为6.7×10-3 cm3?s-1.

反应磁控溅射、ZnO/Al(O)/ZnO薄膜、氧掺杂、氧气流量

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TH117.3

2018-09-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共6页

48-52,82

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机械工程材料

1000-3738

31-1336/TB

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2018,42(8)

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