新型无铅Na0.5Y0.5TiO3铁电薄膜的制备及性能

摘要：

采用射频磁控溅射法在[001]取向的掺铌钛酸锶(Nb∶STO)单晶衬底上制备Na0.5Y0.5TiO3(NYT)铁电薄膜,研究了该铁电薄膜的物相组成、显微结构、铁电性能、电输运性能.结果表明:NYT薄膜具有[001]取向的外延结构,其表面平整,界面清晰,结晶质量良好;NYT薄膜具有铁电性能,其剩余极化强度为0.3 μC·cm-2,矫顽场为178 kV·cm-1;NYT薄膜/电极界面存在肖特基势垒,反偏状态的肖特基结能够显著降低NYT薄膜的漏电流密度,提高其耐压强度,肖特基结处于正偏状态时的电流传导符合陷阱态控制的空间电荷限制电流机制.

关键词：外延生长、电滞回线、压电响应、肖特基势垒

所属期刊栏目：42

分类号：O469(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：河北省自然科学基金青年科学基金资助项目206020315045;河北省教育厅高等学校科学技术研究项目205020516524

在线出版日期：2018-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：35-39