碳含量对电弧增强反应磁控溅射方法制备BCN薄膜热稳定性的影响

摘要：

利用电弧增强反应磁控溅射(AEMS)方法在高速钢基体上制备了BCN薄膜,通过改变石墨靶功率来调整BCN薄膜中碳元素的含量,采用傅里叶变换红外光谱仪、高分辨透射电镜、显微硬度计和划痕仪等设备研究了BCN薄膜的热稳定性.结果表明:BCN薄膜在高温下具有较好的热稳定性;随着碳含量的增加,高温退火后BCN薄膜原子排列的有序度增加,部分结合键发生转化或分解,结合力下降,BCN薄膜的热稳定性降低.

关键词：电弧增强反应磁控溅射、BCN薄膜、热稳定性

所属期刊栏目：41

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

资助基金：安徽省博士后研究人员科研活动经费资助项目2015B070;国家自然科学基金资助项目81501598

在线出版日期：2017-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：44-47