基体温度对线性离子束技术制备α-C∶H薄膜结构和性能的影响

摘要：

采用线性离子束镀膜技术在YG6硬质合金上沉积氢化类金刚石(α-C∶H)薄膜,通过原子力显微镜、Raman光谱仪、球磨仪和洛氏压力仪等研究了基体温度对α-C∶H薄膜微观结构、表面形貌、耐磨性以及膜基结合性能的影响.结果表明:随着基体温度升高,薄膜中sp3键含量和耐磨性能先降低后提高,表面粗糙度先减小后增大;基体温度在80 ℃时,制备的薄膜最为光滑,而sp3键含量最低,薄膜耐磨性最差;基体温度对膜基结合性能没有明显的影响.

关键词：线性离子束、α-C∶H薄膜、基体温度、显微结构、性能

所属期刊栏目：39

分类号：O484.2(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51275247

在线出版日期：2015-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：31-34,98