S136不锈钢基体溅射氮化铬薄膜的硬度和接触角

摘要：

在不同的S136不锈钢基体上溅射制备了氮化铬(CrN)薄膜,通过接触角的测量、硬度测试、扫描电子显微镜观察及X射线衍射分析等方法研究了基材的组织、方向性、表面粗糙度、表面机械加工方法及溅射偏压对CrN薄膜接触角和硬度的影响.结果表明:在溅射功率300W、施加-120V偏压、氩气和氮气流量比9∶1溅射条件下,可得到Cr2N单相薄膜,呈现(111)面择优取向;溅射CrN薄膜显著提高S136不锈钢表面硬度和接触角;溅射时施加负偏压的CrN薄膜接触角明显大于未施加的;基材杂质少、碳化物细小、研磨后抛光、施加负偏压的纵向试样溅射CrN薄膜后硬度较高(1 177 HV)、接触角较大(98.77°).

关键词：CrN薄膜、接触角、S136不锈钢

所属期刊栏目：37

分类号：TG142.45(金属学与热处理)

资助基金：福建省教育厅科研项目JA13380

在线出版日期：2014-01-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：21-26