射频空心阴极等离子体放电气体分布的有限元模拟

摘要：

为了得到较为优化的射频空心阴极等离子体放电参数,提高放电气体分布的均匀性,以改善材料表面改性的均匀性,构建了射频空心阴极等离子体放电气体流动的数学模型,应用Flu-ent软件对放电气体分布进行有限元模拟,得出了较为优化的放电参数;另选择一组放电参数对电池隔膜进行表面改性试验,通过测试电池隔膜的最大吸碱量,得出较优的放电参数.结果表明:试验优选放电参数和模拟所得出的优选放电参数较为吻合,证明了有限元模拟的可行性与实用性;得出的较优放电参数是阳极孔径为8 mm,进气流量为5 L·min-1,试样距离为20 mm.

关键词：射频空心阴极等离子体、放电气体分布、有限元模拟

所属期刊栏目：37

分类号：TB21(工程设计与测绘)

资助基金：科技部2010年科研院所技术开发研究专项资助项目2010EG111015;2012年江苏省“青蓝工程”中青年学术带头人资助项目

在线出版日期：2013-12-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：101-106