TiSiN纳米复合结构涂层的研究进展

摘要：

简要介绍了TiSiN纳米复合涂层的晶体结构,主要从涂层的性能、制备方法、硅含量以及其它元素掺杂的影响等方面综述了TiSiN纳米复合涂层的研究进展,最后对其存在的主要问题和今后的发展方向进行了总结和展望.

关键词：TiSiN涂层、纳米复合结构、制备工艺、研究进展

所属期刊栏目：37

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：上海市自然科学基金资助项目11ZR1424600;上海市教委重点学科项目J50503

在线出版日期：2013-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：6-10,38