TiAlN基薄膜的研究进展

摘要：

综述了TiAlN薄膜、TiAlN纳米多层膜、TiAlN纳米复合薄膜的研究进展,主要介绍了3种薄膜的硬度、摩擦磨损等性能,并对影响其性能的因素进行了分析,提出了薄膜制备所存在的问题,最后对其今后的发展做了展望.

关键词：TiAlN、薄膜、纳米多层膜、纳米复合膜

所属期刊栏目：37

分类号：TG178(金属学与热处理)

资助基金：山东省科技发展计划项目2011GGX10321;济南市科技发展计划项目200906003

在线出版日期：2013-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5