20CrNiMo钢表面磁控溅射制备TiN／ZrN多层薄膜的形貌及摩擦学性能

摘要：

利用非对称双极脉冲磁控溅射技术在20CrNiMo钢表面制备了TiN／ZrN多层薄膜，利用扫描电子显微镜和原子力显微镜观察了薄膜的截面和表面形貌，用划痕仪测试了薄膜与基体的结合力，通过球一盘摩擦磨损试验机对薄膜的摩擦学性能进行了研究。结果表明：制备的TiN／ZrN多层薄膜厚度约为2．μam，薄膜均匀且致密，表面粗糙度为13．63nm；薄膜与基体结合较牢固，临界载荷达到51．0N；薄膜具有优良的减摩性，摩擦因数为0．16，较基体20CrNiMo钢的0．33明显减小，使该钢的耐磨性能得到提高。

关键词：20CrNiMo钢、TiN/ZrN薄膜、磁控溅射、摩擦学性能

所属期刊栏目：35

分类号：TG115.221.5(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50874018

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：8-10,13