定向凝固提纯对工业硅杂质及电阻率的影响

摘要：

以1101工业硅为原料,采用真空感应熔炼加定向凝固提纯方法制备了多晶硅铸锭,通过电感耦合等离子体发射光谱仪、扫描电镜、四探针电阻率仪、导电类型测试仪等对其化学成分、组织、电阻率及导电类型等进行了分析.结果表明:多晶硅锭中约50%的区域纯度达到99.99%,其中铁、铜、镍等金属杂质去除率均在90%以上;分凝效应使得杂质元素重新分布,导致粗大柱状晶在铸锭54%高度处停止生长,此时其成分及电阻率发生突变,导电类型也由P型转变为N型.

关键词：定向凝固、多晶硅、分凝效应、电阻率

分类号：TF89(有色金属冶炼)

资助基金：辽宁省重大工业攻关资助项目2006222007

在线出版日期：2011-07-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：52-55,59