箔片空气轴承表面钛掺杂DLC膜的制备与表征

摘要：

采用中频非平衡磁控溅射方法在箔片空气轴承的主轴材料40Cr钢、支承元件铍青铜箔片及硅片上制备了钛掺杂的DLC膜,并对膜的结构、摩擦磨损性能、结合强度以及内应力等进行了表征.结果表明:所制备的DLC膜含有较多的sp2键,与基体结合力强,两种轴承材料上沉积DLC膜之间的摩擦配副的减摩抗磨效果较好,摩擦因数在0.06～0.08,磨损率为4.8×10<'-8>mm3·N<'-1>·m<'-1>,可用于箔片空气轴承表面的固体润滑.

关键词：箔片空气轴承、固体润滑、DIC膜、摩擦磨损

所属期刊栏目：35

分类号：TB302(工程材料学)

资助基金：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所长基金资助项目K587-09-JS

在线出版日期：2011-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：69-71,75