期刊专题

氮流量比对直流反应磁控溅射制备氮化铬涂层组织和性能的影响

引用
采用直流磁控溅射法制备氮化铬涂层,研究了氮流量比对涂层相结构、表面形貌和硬度和涂层结合力的影响.结果表明:当氮流量比在30%~100%变化时,涂层主要由CrN相构成;随氮流量比增加,涂层晶粒形貌由三角锥转变为三角锥与球状共存,涂层变得致密,硬度得到提高;氮流量比对涂层结合力影响不大.

直流磁控溅射、氮流量比、氮化铬涂层

34

TB3;TG14;TG17(工程材料学)

国家科技支撑计划资助项目2007BAE15B05

2010-10-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

34-37

暂无封面信息
查看本期封面目录

机械工程材料

1000-3738

31-1336/TB

34

2010,34(7)

专业内容知识聚合服务平台

国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”

国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304

©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1

信息网络传播视听节目许可证 许可证号:0108284

网络出版服务许可证:(总)网出证(京)字096号

违法和不良信息举报电话:4000115888    举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn

举报专区:https://www.12377.cn/

客服邮箱:op@wanfangdata.com.cn