静电辅助气溶胶化学气相沉积法制备Al2O3薄膜

摘要：

以乙酰丙酮铝为前驱体,N,N-二甲基甲酰胺为溶剂,采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积(ESAVD)方法,在Si(100)衬底上制备了Al2O3薄膜,并采用场发射扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和自动划痕仪等设备对制备的薄膜进行了表征.结果表明:采用ESAVD法制备的Al2O3薄膜平整致密而且晶粒细小,薄膜与基体之间及薄膜内部都未出现开裂现象;薄膜与基体的结合力约为5.56 N;沉积得到的薄膜为化学计量比为2∶3的氧化物薄膜;退火前的薄膜为非晶态,在1200℃退火保温2h后薄膜转变为α-Al2O3.

关键词：静电辅助气溶胶化学气相沉积、氧化铝、薄膜

所属期刊栏目：33

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2010-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：65-67,75