10.3969/j.issn.1000-3738.2008.04.012
HP40钢表面沉积SiO2功能涂层工艺
以正硅酸乙酯为源物质,空气为载气,采用常压化学气相沉积法在HP40(25Cr35Ni)合金钢基体上制备了SiO2涂层;研究了沉积温度、源物质温度以及气体流量等工艺参数对沉积速率的影响,并通过XRD和SEM分析了涂层的物相组成及表面形貌.结果表明:用此方法可在HP40钢表面沉积出表面均匀致密且与基体具有一定结合强度的涂层,较合理的工艺参数为源物质温度60℃、沉积温度800℃、气体流量3.33 L·min-1.
常压化学气相沉积法、SiO2涂层、HP40钢、沉积速率
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O613.71(无机化学)
2008-07-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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